关灯

微纳尺度制造工程英文版+清晰pdf+247M

[复制链接]
gradzhang 发表于 2019-1-14 12:49:53 | 显示全部楼层 |阅读模式 打印 上一主题 下一主题
图书
图书封面: -
书名: 微纳尺度制造工程英文版
售价: 40 盟币
文件大小: 247 M
质量: 清晰pdf
语种: 英文
分类: 能源动力 » 电力
SSID: -
 
【作 者】(美)坎贝尔著
【丛书名】国外电子与通信教材系列
【形态项】 638
【出版项】 北京:电子工业出版社 , 2010.09
【ISBN号】978-7-121-11804-3
【中图法分类号】TN405
【原书定价】69.00
【主题词】微电子技术-高等学校-教材-英文
【参考文献格式】 (美)坎贝尔著. 微纳尺度制造工程 英文版. 北京:电子工业出版社, 2010.09.
内容提要:
本书是The Science and Engineering of MicroelectronicFabrication 的第三版。本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术,覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺,包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。本书新增加的内容包括原子层淀积、电镀铜、浸润式光刻、纳米压印与软光刻、薄膜器件、有机发光二极管以及应变技术在CMOS 工艺中的应用等,对于其他已经过时的或不再具有先进性的题材则做了适当的简化或删除处理。
请点击此处下载

请先注册会员后在进行下载

已注册会员,请先登录后下载

文件名称:微纳尺度制造工程英文版.pdf 
下载次数:25  文件大小:247.65 MB  售价:40元盟币 [记录]
下载权限: 不限 以上或 VIP会员   [购买VIP]   [充值盟币]  [免费赚盟币]


参与人数 1盟币 +50 收起 理由
yeyue130 + 50

查看全部评分总评分 : 盟币 +50

回复

使用道具 举报

 
您需要登录后才可以回帖 登录 | 立即注册 微信登录

本版积分规则


12822威望

142028盟币

232关注

211粉丝

50583帖子

排行榜
作者专栏
登录后可将在线时长兑换成盟币 ,连续在线 [1] 小时后,每小时 [0.5] 盟币.
×

你已累计兑换次数 0

你已累计兑换积分 0盟币

关注我们:微信订阅号

官方微信

APP下载

Copyright   ©2005-2018  博研网Powered by©Myboyan.com    ( 粤ICP备10062441号 )